Производство микросхем

Если относительная влажность воздуха менее 30 %, это способствует накоплению статического электричества и представляет серьезную угрозу для электронных компонентов.
Кроме этого, скорость многих химических реакций, включая такие процессы, как коррозия, зависит от относительной влажности. Чтобы точно контролировать процесс, необходимо обеспечить правильную влажность воздуха.
Вязкость фоторезистивного материала (а значит возможность наложения пленки одинаковой толщины) сильно зависит от относительной влажности, поэтому в производстве полупроводников очень важна точность поддержания влажности воздуха.